近日，中共中央政治局常委、国务院副总理韩正在湖北省武汉市调研指出，要加大新技术、新产品商业化应用力度，提升产业集成水平，集中力量攻克“卡脖子”技术，增强关键基础材料自主保障能力。
在中国科学院“率先行动”计划第一阶段实施进展发布会上，中科院院长白春礼表示：面临美国对中国高科技产业的打压，我们希望在这方面能做一些工作。我们把美国“卡脖子”的清单变成我们科研任务清单进行布局，比如航空轮胎、轴承钢、光刻机，还有一些关键的核心技术、关键原材料等，我们争取将来在第二期，聚焦在国家最关注的重大的领域，集中我们全院的力量来做。
方正证券指出，光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备)，价值含量极大，在制造设备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。目前光刻机国产替代将迎来新的曙光，尤其是IC前道制造领域，将初步打破国外巨头完全垄断的局面，实现从0到1的突破。关注举国之力助力国产替代的光刻产业链，一是光刻机核心组件；二是光刻配套设施：包括光刻胶光刻机唯一上市公司，光刻气体，光掩模版，光刻机缺陷检测设备，涂胶显影设备等。
相关上市公司中，赛微电子：公司生产的MEMS可应用于光刻机透镜系统部件，产品服务于全球光刻机巨头ASML。
晶方科技：ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。
奥普光电：长春光机所控股下的唯一上市平台光刻机唯一上市公司，90纳米光刻机曝光系统是长春光机所联合其他单位在国家专项资金的支持下开展的研发项目。
蓝英装备：公司控股子公司为荷兰光刻机制造商ASML提供精密清洗解决方案。
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